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可變間距多片晶圓傳送Robot - 三和技研股份有限公司

具備多片可變Pitch 晶圓夾持單元，採高解析度步進與伺服混合，搭配獨有S-曲線加速度控制，可安全且穩定的完成最多達4+1 片晶圓傳送。 可變間距多片晶圓傳送Robot.

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