不同微結構鑽石薄膜分別為微米晶鑽石薄膜(microcrystalline diamond, ... 電子掃描式顯微鏡可發現微結構之鑽石薄膜經離子蝕刻製程後皆呈現高密度垂直結構化奈米鑽石。
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