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以自形成氧化錳薄膜應用於銅金屬化之擴散阻障層特性研究

... Mn (15nm)/SiO2/Si，在利用濺鍍法沉積錳薄膜與銅薄膜導線後，施以不同溫度退火並在金屬錳 ... 功效遭到破壞。 Copper has attracted much attention as a promising ...

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