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矽負極全固態薄膜電池之開發與特性研究

同時使用上述兩種方法，在適當的製程參數匹配下，還可調整. 與增加Si 薄膜的厚度達最佳值，藉此提升全電池的電容量。本研. 究將以射頻磁控濺鍍製備全固態鋰離子薄膜型 ...

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