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锑和锡掺杂对直拉硅化学性能的影响 - X-MOL

在这项工作中，掺杂10 18 cm -3的锑（Sb）和锡（Sn）水平上对切克劳斯基（Cz）硅的机械性能进行了比较研究。由于Sb和Sn在硅中具有非常接近的四面体共价半径，因此Sb ...

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