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自組裝單層包覆及氧化錳介在物摻雜對奈米銅導線之可靠度提升 ...

中，錳的添加能夠有效強化銅導線的強度使其承受更高的溫度及更強的偏壓(Vias)應力[4]。本專題計畫. 乃是探討自組裝單 ... 全包覆無電鍍銅導線. 初鍍. 300℃退火400℃退火.

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