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銅錳合金於釕金屬墊層上之阻障特性研究 - Research Express ...

然而，為了達成良好的熱穩定性與低電阻值，其銅錳合金製程的退火溫度、時間、以及錳元素的含量都有著嚴格的要求。有鑑於此，我們提出在銅錳合金底下 ...

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