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薄膜應力與拋光應力對銅膜化學機械拋光行為影響之研究

以相同退火溫度之實驗結果顯示，退火溫度為150°C及250°C時，薄膜應力愈大，導致較大的移除率。而退火溫度為200°C之銅膜，雖然應力愈大但移除率並沒有增加反而下降。（3） ...

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