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微電子純銅表面氧化層整合分析之研究Electrochemical and ...

本研究選擇冷軋純銅片與電鍍銅，模擬die attachment、wire bonding 以及高溫劣化等特定溫度進行恆溫處理，獲得不同氧化程度之銅表面予以分析。實驗結果顯示，. FTIR 光譜可 ...

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