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關鍵詞(Keywords) - 工業技術研究院

銅容易於空氣中氧化，形成金屬氧化物，而造成 ... 而熱電漿具備的高溫，再加上處理氣氛的控 ... 合基板加溫的情形下，可使氧化銅還原成銅[4]，.

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