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國立中山大學光電工程學系碩士論文氧化銅與氧化亞銅之特性 ...

本研究中，我們以磁控式射頻濺鍍機(RF Sputter)來製作氧化銅及氧化亞銅薄膜，首先以純 ... 濺鍍製程使用鈍氣的原因是該氣體離子容易產生及不與靶材反應，當然也可以在 ...

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