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碱性氯化铜蚀刻液原理及基础配方

1.一种钨和氮化钛金属薄膜的蚀刻液，其特征在于，所述的蚀刻液成分包括占蚀刻液总重量50-80%的磷酸、0.1-5%的硝酸、5-15%的醋酸、0.01-3%的氟化合物、0.01 ...

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