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CN104498950A - 一种高选择性钛层腐蚀液组合物

[0004] 但是，改进后的过氧化氢系蚀刻液在使用于半导体金属芯片时存在技术缺陷:第一、微观下 ... 因此，有必要对现有技术中的高选择性钛层腐蚀液组合物进行配方改进。

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