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薄膜式微結構之金屬轉印模具開發

薄膜式金屬模具之製作流程. 本研究利用類LIGA 製程技術，開發薄膜式微. 結構之金屬轉印模具。首先在矽晶圓基板上，電鑄. 一層厚度10 mm 之鎳鈷薄膜作為模仁起始層(即為.

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