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沉積速率（英文名稱depositionrate） - 中文百科知識

沉積速率（英文名稱depositionrate），在給定時間間隔內,沉積在基片上的材料量,除以該時間間隔和基片表面積。沉積速率（deposition rate）是指沉積物對可容空間充填的 ...

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