PE-TEOS PSG 薄膜的蝕刻速率為6000 Å/min,. 矽的蝕刻速率為30 Å/min, PSG 對矽 ... 範例: 80% 磷酸、 5% 醋酸、 5% 硝酸及10 % 水. ▫. 硝酸氧化鋁金屬而磷酸同時移除氧化 ...
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