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退火
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退火處理對已劣化MOSFETs的恢復效應
為探討陷入電荷的機制,本研究使用製程退火,對已劣化MOSFET退火,其退火氣體為N2與5% H2兩種分別觀察其氧化層陷阱的變化。使用N2是為了探討高溫是否會讓已陷入在氧化 ...
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