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退火
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雷射退火Laser Annealing | ProPowertek宜錦科技
對晶背離子植入做退火,使植入離子活化,並修補因離子植入所造成的晶格破壞。由於加熱時間很短,且集中在局部小區域,儘管高溫達800~1100度C,但高溫的深度只有數um ...
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