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退火溫度晶粒大小
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濺鍍製程參數與退火溫度對摻鈧氧化鋅薄膜性質之影響
隨著功. 率的提高,欲鍍粒子到達基板表面數目增加,. 而使得成核的數量增加,晶粒趨於較小尺寸,. 而且晶粒之間更為緻密,而使得表面粗糙度較. 小。 圖9為薄膜退火前後之SEM ...
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