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5 Thermal Processes

退火. • 高純度N. 2. ，廣泛使用在退火製程 ... 在STI形成過程中氧氣被使用在USG退火上. • 低等級的氮氣使用在閒置時的吹除 ... 對超薄閘極氧化層的快速加熱氧化及退火.

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