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水平爐管個別原理

➢APCVD Dry Oxide. ➢APCVD N+ Anneal. ➢APCVD P+Anneal. ➢APCVD Drive In. ➢APCVD H. 2. -SINTER. • 影響Thermal Oxide. Layer電性的電荷來源. •退火(Annealing) ...

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