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退火爐 - 矽碁科技股份有限公司

可以加熱晶片以激活摻雜劑，使沉積的膜緻密化，並改變生長的膜的狀態。暴露在高溫下可以修復損壞。該過程稱為退火。 爐子退火可以集成到其他爐子處理步驟中，例如 ...

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