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退火原理
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高溫快速熱退火技術於AM-OLED TFT-Array 之應用 - 材料世界網
準分子雷射退火所形成多晶矽薄膜,應用在薄膜電晶體液晶顯示器上具有非常 ... ELA原理先利用PECVD方式沉積低氫含量a-Si薄膜,再以400℃~500℃溫度作去氫 ...
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