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Flow Control System

FCS®. 是為了提高半導體晶圓製造過程中、最關鍵的蝕刻率與沉積率之穩定. 性與再現性、而開發出來的產品。 基本操作原理有別於傳統的質量流量控制器(MFC)、這是一款經由 ...

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