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稀薄氣體流過有柱子的微流道研究探討 - 博碩士論文網

本實驗所使用的為雙槽累積量測系統, 所量測的壓差對時間的變化, 即可求出質量流率。本實驗結果顯示, 流道中柱子在高度為1μm的情形之下, 儘管面積變化, 但其單位質量並 ...

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