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質量流量 - 應用物理系

體會,故一般仍以特定之溫度、密度條件下之質量流量以體積流量. (cc/min)表示之。 各MFC 量測所使用的基準單位. 1. sccm:0℃、1大氣壓下、1分鐘體積流量。

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