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應用聲射訊號於藍寶石晶圓研磨之砂輪狀態監測 - 機械工業網
摘要:本文分析磨削藍寶石晶圓所發出的聲射訊號,定義出高精度硬脆材料薄化設備(立式磨輪加工機)的砂輪特性。我們研究了研磨時聲射訊號的頻率成份,以定義不同結合度 ...
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