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國立台灣大學機械工程學研究所精密量測實驗室

- 兩軸長度測量加一個角度測量，或 - ... 系統功能 形狀誤差Max 0.2μm ( 80mm半徑球面), 系統雜訊( RMS) 1nm 傾斜角量測不確定度0.5 arc minute (+ / - 35度角) 量測軟體: ...

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