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CMOS-MEMS 電容式感測元件與製程平台之研究 - 心得報告

(2) CMOS製程可結合MEMS元件與電路IC構成單體(monolithic)整合型系統，以 ... 整個測試架設如同自我診斷動態測試，差別在於加速度計不受內部致動器的 ...

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