作者skysleep (知易型男)
看板Tech_Job
標題[心得] 半導體製程整合心得
時間Wed Feb 2 11:56:09 2022
由於小弟在Fab也做了幾年製程整合,這邊整理一下製程整合會碰到,而且需要具備
的相關知識心得。希望可以對想要進入或剛進入製程整合的新人有所幫助~
如果有誤,再麻煩指正,感謝~
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首先,整個半導體產業最終的目的就是做出可以運算/感測/放大...各種訊號的晶片
,所以一定要記得,Fab做出來的東西是要通電的。有很多做製程的工程師,做到最後對
製程很熟悉,但是卻不知道為什麼要這麼做
(Ex:為什麼要HKMG? 為甚麼要contact下面一定要重參雜? 為什麼poly也要打IMP?)
我們可以先看下面這張電路階層圖,這張圖由下到上展現了從元件開發到電路設計的
關係,從最下面的MOS/電阻/電感...到上面的邏輯閘,再到最後設計出的電路功能。
https://imgur.com/ad1HQIV 這張圖中展示了Fab和豬屎屋之間的關係,Fab是Bottom up來看電路,主要負責各種
Device特性開發,例如:MOS/Cap/電阻/電容...。而其中就牽涉到半導體元件,製程,量
子物理,光學,化學...等等基礎科學。
另一方面,豬屎屋則是Top down來看電路,從一開始晶片應用領域(是CIS,HPC,還
是高壓電路?),到電路設計/模擬...,主要需要熟悉電子電路,數位,類比,計算機...
。
而其中,PDK就扮演了溝通橋梁,PDK內含的平台文件就可以讓Designer知道,各種電
子元件會出現的Performance,並且進行模擬/設計。而PDK也會讓製程整合知道,製程
Spec該如何制定卡控。
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而從製程平台的角度來看,可以分成幾個階段
https://imgur.com/cre4aqz 1. 製程平台開發
主要由TD或RD執行,這階段需要了解客戶會用到甚麼樣的元件,操作電壓,漏電大小,
SOA...,並且搭配場內製程,來開發元件。而有了基本的製程flow,就可以實際跑實驗
Lot,撒split條件,確認有沒有打到目標。
實驗Lot跑完了,就可以準備做model,這時就要提供Si data給model team,生出SPICE
model,也要制定電性 spec,最後才能送Qual驗證可靠度
而其中也牽涉到IP驗證,IP需要在廠內製程Run過之後,才能實際送給IP house驗證,避
免因製程差異而function異常。
2. 製程平台改良
主要由TD執行,平台OK之後,客戶才會下單NTO,而過程中製程整合需要做窗口,不管是
DRC有問題,產能時程問題,各式各樣的問題都要回答客戶。
而初期Pi-run,需要確認各項製程Window足夠,有了製程Window才有電性Window,最後才
有良率Window
3. 製程平台量產
初期Pi-run結束後,到一定量,就會轉量產,量產就會專門做製程改善,Inline Cpk改善
,抓commom tool,產能改善...
https://imgur.com/Pl9qP2K https://imgur.com/Suqou1k ===============================================
老實說,製程整合在Fab真的需要蠻長的訓練期,1~2年可能都還是新人,做不出什麼貢獻
,畢竟初期光是要把製程和電性關係了解,就要花很多時間。所以一開始都在帶Lot。
而製程和電性關係了解之後,才可能去調動製程條件,把電性做調整。而這一切的核心其
實還是半導體元件物理,真的建議找本課本,或開放式課程看看。
製程整合在Fab需要接觸很多面向,幾乎甚麼事情都會變成整合要做Owner
(Ex:
產品Low yield --> 整合找module 討論root cause
Device Qual不過--> 整合找Q 討論root cause
Pi-run交期太慢 --> 整合找生管幫忙)
所以整合常常要做溝通橋梁,一邊是客戶,一邊是廠內Module,很需要溝通技巧,合作能
力
而接觸面廣,有好處也有壞處。整合可能是process懂一點,Model懂一點,Device懂一點
,良率分析懂一點,Qual懂一點...。但反過來說,也是因為什麼都要碰所以也才能與豬
屎屋溝通,所以也有人之後就跳去客戶端發展。
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→ Dgpt : 馬是HL製程跟設備,叫他們生report出來給你們抄著 02/02 14:45
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推 godrainbow : 真的很用心,我對應的整合窗口只會裝逼把自己當小主 02/02 14:47
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推 jimjiang : 推,兩年心得真的是這樣 02/02 14:50
推 ppc0515 : 推 02/02 14:51
推 Incentive : 推分享 02/02 15:06
→ bbdd203 : 有時候蠻多module再靠邀整合只會HL 但是當有機會給 02/02 15:20
→ bbdd203 : 他們到整合嘗試時 卻又退縮不說話 各位子都有自己 02/02 15:20
→ bbdd203 : 的苦衷 推文沒必要酸酸 02/02 15:20
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推 kevinfisher : 優文給推,不過GG分工真的太細了,很多人就算做了 02/02 15:35
→ kevinfisher : 兩三年還是只會帶貨跟查inline 02/02 15:35
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推 yuki166618 : 推,優文 02/02 16:02
推 mile022 : 整合很容易可以做出價值 也很多人可以做到人人嫌 02/02 16:02
推 jerboaa : 推 02/02 16:05
推 j821005 : 不懂這些的資深整合到處都是 02/02 16:16
→ j821005 : 看電子學開放課程跟施敏的書就可以了解七八成了吧 02/02 16:17
推 rootAtaabu : 推 02/02 16:24
推 wj94ce0y0 : U 02/02 16:28
推 kerorogunso : 推 清楚明瞭 02/02 16:28
推 r833123 : 推 多講一點啊 02/02 16:40
推 soneyoona : 推推 02/02 16:47
推 Stan6003 : 推 02/02 16:55
推 leo255112 : 訓練期很長是真的 感覺前三年都還是跟廢物沒兩樣 02/02 16:57
推 ass0611ass : 好文推推 02/02 17:08
推 willhotmail : 謝謝分享 02/02 17:14
推 aa3104 : 推 02/02 17:16
推 TCross2 : 推推 02/02 17:16
推 crayon56 : 優文推推 02/02 17:22
推 qwe080969 : 何止兩三年 多的是待到5年以上還是跟廢物一樣 GG分 02/02 18:01
→ qwe080969 : 工太細加上強大的系統 什麼都不懂的人也是可以生存 02/02 18:01
推 homepark : 優文給推 02/02 18:03
推 andy7829 : 推 02/02 18:07
推 jkasc28s : excel ppt 搓湯圓 這三個精通包整合路順遂 02/02 18:14
推 llltt123 : 整合不是追in-line shift跟pi run 時程麻.......... 02/02 18:25
推 s011045 : 推 02/02 18:55
推 kennetharies: 推 02/02 19:09
推 aj30432000 : 好文好文 02/02 19:15
→ jimmy6247 : 整合是溝通橋樑,但通常整合的橋樑都是斷的,跟客戶 02/02 19:25
→ jimmy6247 : 起爭執、跟製程起爭執、跟Q、跟製造部都會起爭執, 02/02 19:25
→ jimmy6247 : 上手之前要記得先學會彎腰求人幫做事 02/02 19:25
推 edward851003: 美光的整合大概也是這樣嗎 02/02 19:25
推 flysonics : 看到這篇 我也想在版上寫一些乾貨幫助新人了 來準 02/02 19:29
→ flysonics : 備準備 02/02 19:29
噓 pc0207119 : 可以不要只懂一點就亂開槍嗎 02/02 19:36
推 jjfly3360 : 讚! 02/02 19:40
推 contaminate : good 02/02 19:45
推 shao870605 : 推 02/02 19:48
推 Janeee : 推佛心 02/02 19:52
推 tyl : 推,寫得淺顯易懂! 02/02 19:54
推 tr6271bf : 大推好文,漲知識了。 02/02 19:54
推 luyixiang : 推推 02/02 19:58
推 zch222520 : Low yield這關,雞巴的客戶就殺了不少人 02/02 20:09
推 totalbspark : 不是EE背景的真的要熬一段時間 02/02 20:11
推 mile022 : 板上不是都說EE進整合是頭殼裝屎 事實上固態組走這 02/02 20:26
→ mile022 : 條路是不錯的 02/02 20:26
推 Ryan5678 : 太優質了 02/02 20:27
推 dreamcat0925: 優質推 02/02 20:47
推 mile022 : 後續周遭不少朋友往客戶端 甚至foundry marketing 02/02 20:48
→ mile022 : TD工程還有 device 都有 出路廣是不可否認的 02/02 20:49
推 littlelinsyu: 淺顯易懂 02/02 20:49
推 CCP4 : 推 02/02 20:56
推 Asher077 : 推 02/02 21:08
推 asdg62558 : 推 02/02 21:08
推 bigwhite327 : 可以不要一直造成線上loading嗎 02/02 21:19
推 Trulli : 推 02/02 21:21
推 zhangc1010 : 推 02/02 21:21
噓 mahament : 唬爛喔 low yield不就怪module 就好 02/02 21:41
推 mile022 : 樓上那種心態 出問題也只會怪機台 正常 02/02 22:15
推 winer2794 : 好文 02/02 22:24
→ willko : 推 公司太多87整合 02/02 22:33
推 verming1 : 謝謝分享 02/02 22:41
推 johnny8510 : 推 感謝大大分享! 02/02 22:55
推 wqa98765 : 推 02/02 22:59
推 KasperTW : 待過整合,看完沒啥幫助…但推一下 02/02 22:59
推 raya61305 : 寫得蠻完整 不過如果完全沒做過的也看不懂 02/02 23:08
推 nightben : 推好文 02/02 23:10
推 isco : 整合很缺人齁? 02/02 23:14
推 sqt : 好強,謝謝分享 02/02 23:18
推 TCross2 : 真的強者整合,那些repot 打開媽久都不敢講話,趕 02/02 23:43
→ TCross2 : 快team敲大小leader一起查case 02/02 23:43
→ TCross2 : 但真的也很多摸魚整合在那邊降低水準,整合真的是上 02/02 23:44
→ TCross2 : 下限很高的職位 02/02 23:44
推 chariot825 : 沒看過比這篇更好的文章,謝謝分享 02/02 23:48
推 margaret6376: 推 02/03 00:09
噓 orange0319 : PEI 嗨賴製程設備,要生報告和掛機限把機台限縮,所 02/03 00:15
→ orange0319 : 以製造部可過機台少堆貨產能過不去,又再說這是什麼 02/03 00:15
→ orange0319 : 重要客戶還是廠長的LOT要先過,都給你們整合說就飽 02/03 00:15
→ orange0319 : 了啊 02/03 00:15
推 orange0319 : 而且也可能整合關機限的時候不說一聲,發現變slow l 02/03 00:21
→ orange0319 : ot才發現被限到沒機台可過,要是再搭配Q-time真的不 02/03 00:21
→ orange0319 : 要怪線上整天call out當站整合 02/03 00:21
→ pinkjenny : poly不一定會打imp吧 02/03 00:32
噓 pinkjenny : 果然不是GG的PID... 02/03 00:35
推 raya61305 : 很明顯U帶N28的吧 02/03 00:37
推 Sanosuki : 推 02/03 00:50
推 a123457 : 推噢 02/03 00:59
推 lanndydanny : 推 02/03 01:13
推 chyuan86520 : 推 02/03 01:14
推 bolee : 推 02/03 01:34
推 russellluo : 優質 02/03 02:56
推 Cinderella : 其實這篇寫得蠻好的 02/03 02:56
推 chinchingwei: 推 02/03 03:42
推 ma430201 : 好文 推推 02/03 04:14
推 adrian2266 : 先推 02/03 06:58
推 rizman28 : 感謝 02/03 07:16
推 umpwn : 熱心推 02/03 07:50
推 skyless : 祝樓主一生平安 02/03 09:00
推 neat875 : 有記憶體整合心得嗎 02/03 09:18
推 black82465 : 這個優 02/03 09:20
推 kr78963212 : 優質文幫推 02/03 09:31
推 mile022 : T的28也是全段 某人不要自己不知道就這樣 02/03 09:48
推 rosty : 推 02/03 09:48
推 seaice : 樓主好人一生平安 02/03 10:58
推 kenscopen : 優質好文 推推 02/03 12:08
推 jeff830603 : 推推 謝謝大大 02/03 12:15
推 kevinfisher : N28的HKMG, PO確實不用打IMP吧 02/03 12:35
推 slg : 整合出路很廣的,是個好的工作選擇 02/03 12:51
推 LeoPan : 推,感謝分享,一直想往製程整合,但不得其門而入 02/03 12:53
→ trigold0703 : 寫報告排版的功力真的很弱,配色差、輕重字不會用、 02/03 13:42
→ trigold0703 : 內容在行內很皮毛,這樣要拿去面試只能騙騙外行的 02/03 13:42
→ OAVAYAVAO : 屎缺 02/03 14:04
推 lightwang : 可以 02/03 14:24
推 love913109 : 難得認真文,不是一堆整天想害人進產線的無腦留言 02/03 15:56
推 Toyallol : 推 02/03 19:25
推 mile022 : 樓上某位 報告要能深入淺出 以簡介而言很ok 這種公 02/03 19:29
→ mile022 : 開網站總不能放一些製程資料FA吧 又不是想被 到脫 02/03 19:29
→ mile022 : 褲 只能說 他的架構不錯 應該也是 待過豬屎屋 02/03 19:30
推 a590910 : 好文 02/03 20:34
推 canallchen : 還在整合?這工作跟製程一樣操。樓主一生平安。 02/03 20:47
推 tedchen1025 : 整合是半導體職涯不錯的開始... 02/03 21:03
推 lincecumli : 大推 02/03 21:42
推 sheepxo : 推 02/03 22:11
推 Janissary : 推一個 02/03 23:43
推 sandy9520 : 推 02/03 23:45
推 spectre07 : 推 02/04 00:37
噓 si5111 : PID可以自己先查一下再HL嗎 02/04 02:29
推 ccworker : 有時候Highlight 不見得是壞事... 02/04 05:21
→ ccworker : 多年前Highlight 某module 它們做得可起勁了 02/04 05:21
→ ccworker : 我也順水推舟都讓他去Update進度跟結果 02/04 05:22
→ ccworker : (某些機台/module很難得可以搞出有能見度的CIP) 02/04 05:23
推 antyallen : 推。雖然很粗淺,但版上應該沒幾個人有耐心打出這 02/04 08:41
→ antyallen : 些文字!謝謝! 02/04 08:41
推 jiawhat11 : 推 02/04 08:53
推 MrRedHair : Please 不want再Chinese英mix了 02/04 09:58
推 rubio123200 : 同為整合人 推 02/04 10:27
推 dn91hde38b : 推 02/04 11:25
推 aocboy : 好專業,非理組的看不懂,但是可以學知識,感恩 02/04 14:56
推 cory298 : 推,謝謝分享 02/04 15:40
推 fuwai : 上面挑毛病的, 也可以自己分享一篇 02/04 20:30
推 Armuu : 好文 02/04 20:59
推 Lindeman5566: 這就是為啥豬屎屋比較愛收PIE不愛收PE和EE 02/04 21:22
推 z515026 : 你不知道大間整合是 帶貨 HL 而已嗎? 你不要自己露 02/05 01:59
→ z515026 : 餡在二四線廠的行為齁 02/05 01:59
→ Lindeman5566: 帶貨HL優先收PIE沒錯啊? 有邏輯衝突嗎 = =? 02/05 02:46
推 hungyi309 : 詳細給推 02/05 11:14
推 aegis91086 : 推 02/05 14:24
推 aka8763 : 推 02/05 14:25
推 Satansblessi: 推好文 02/07 01:31
推 a40006 : 推 02/07 10:14
噓 zz740324 : 整合不就是lot出問題去co機台誰比例最高就打誰嗎 02/08 12:55
推 a991235137 : 推好文 02/08 16:54