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晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼? - 品化科技股份有限公司

晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼? ... 利用化學反應將薄膜予以加工，使獲得特定形狀的作業稱為蝕刻。蝕刻可分為乾式蝕刻與濕式蝕刻兩種。 最常使用的乾式 ...

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