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先進製程控制技術(APC)導論 - 數位學習- 高雄市立空中大學

基本上APC算是某類系統的總稱，是由SEMI所定義與推廣的技術，通常包括下列項目：R2R（批次控制；Run-to-run control）、FDC（故障偵測與分類；Fault ...

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