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表面粗糙度對照表rms
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國立臺灣大學理學院物理學研究所碩士論文以電漿輔助化學 ...
氣體流量、射頻功率和處理步驟皆會改變四氯化鍺蒸氣和氫原子在反應腔體. 中的濃度,對薄膜鍍率和表面粗糙度而言是非常重要的因素;低氣體流量或低射. 頻功率的情況下,鍺 ...
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