由AFM 表面粗糙度之分析顯示,所有薄膜之表. 面粗糙度皆小於30 nm(rms),於某些鍍膜條件下也可. 成長出表面粗糙度約為6 nm 之奈米鑽石薄膜。 第二部分針對類鑽碳膜內包複奈 ...
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