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第三章WK2008磊晶系統相關硬體說明(腔體溫度控制器)

器、壓力控制器、流量計)代號下方的橘色方框中顯示之數值，代表為該項 ... 效降低溫度震盪幅度或在PID 演算控制後仍產生無法接受的過衝量.

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