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化學束磊晶系統成長氮化銦磊晶薄膜之製程研究

由於其能隙分佈極廣，如圖1 所示，從氮化銦 ... 析可以知道， InN 成長於GaN 上之貫穿式差排密 ... 穿式差排通常包含：螺旋差排(screw dislocation).

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