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半導體製程設備技術 - 第 164 頁 - Google 圖書結果
利用PID溫控器控制蒸鍍源溫度,可調整分子束流量至設定值,其分子束流量強度公式如下: P: ... 可用於設計磊晶成長速率及相關參雜物質濃度的設計,分子束流量比例計算公式 ...
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