... 蝕刻與離子佈植的抵抗力。由於在之後的製程是蝕刻或離子佈植,所以硬烘烤在加熱的溫度和時間通常是比前面的烘烤要來的高且久的,表 6.1 為各種烘烤的比較。表 6.1 各種烘 ...
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