為什麼這篇等向性蝕刻鄉民發文收入到精華區：因為在等向性蝕刻這個討論話題中，有許多相關的文章在討論，這篇最有參考價值！作者jovibon ( Ｏ ＹＡ)站內Physics標題[實驗] Si 的等向性蝕刻時間Thu Ma...
等向性蝕刻 在 BusinessFocus | 商業、投資、創科平台 Instagram 的最佳貼文
2020-10-08 01:45:38
【@businessfocus.io】一早估到自己會被美國制裁？日媒爆中芯年初開始瘋狂囤貨兼建共享倉庫 . 《日經亞洲評論》引述多個消息人士報道，為應對美國政府可能對中國晶片製造商中芯國際（981）展開的制裁，中芯正在囤積製造設備及關鍵替換零件。 . 報道指，中芯從美國、歐洲、日本的供應商購買的關鍵...
※ [本文轉錄自 Chemistry 看板]
作者: jovibon ( Ｏ ＹＡ) 站內: Chemistry
標題: [實驗] Si 的等向性蝕刻
時間: Thu May 15 23:23:46 2008
請問大家一下有什麼溶液可以等向性蝕刻Si呢
拜託各位摟
謝謝阿
--
Ｉｔ'ｓ Ｍｙ Ｌｉｆｅ
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.166.11.21
--
Ｉｔ'ｓ Ｍｙ Ｌｉｆｅ
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.166.11.21
→ serg:等向通常用濕蝕刻，但不知道etching Si的，倒是知道SiO, SiN 05/15 23:38
→ jovibon:可以說一下SiN的嗎 以及配方比例 謝謝喔 05/15 23:44
→ serg:就磷酸 一份SiN需 四份H3PO4 十份H2O 05/16 00:02
→ serg:會產生 Si3O2(OH)8 和 NH3 H3PO4 05/16 00:04
推 savior:請查HNA 或silicon bulk micromachining相關資料 05/18 15:04