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蝕刻選擇比高
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【面板制程刻蚀篇】史上最全Dry Etch 分类、工艺基本原理及良 ...
选择比 即为不同物质之间蚀刻速率的比值。其中又可分为对遮罩物质的选择比及对待蚀刻物质下层物质的选择比。选择比要求越高越好,高选择比意味着只刻除 ...
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「蝕刻選擇比高」
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