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蝕刻選擇比高
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乾貨!老司機帶你利用高中化學知識理解蝕刻(dry etch)選擇比 ...
所謂高選擇比指的是蝕刻薄膜時,上面的掩膜材料(PR or HM)或下面的襯底材料不被蝕刻或較小的被蝕刻。隨著摩爾定律的發展,製程線寬的不斷縮小,高選擇比 ...
確定!
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「蝕刻選擇比高」
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