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蝕刻選擇比高
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蝕刻機濕製程設備整合代工產品管理 - Liwileretw
... 蝕刻製程是指介電質蝕刻或導體蝕刻,用以指明從晶圓上移除的薄膜材料類型。應用材料公司的蝕刻 ... 蝕刻選擇比高且產量速度快。 濕式蝕刻機制: 般是利用 ...
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