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蝕刻機台- 奇裕集團濕式化學清洗蝕刻設備 - Zhubeito

何谓Etchrate 蚀刻速率答：单位时间内可去除的蚀刻材料厚度或深度. 何谓Seasoning 陈化处理答：是在蚀刻室的清净或更换零件后，为要稳定制程条件，使用仿真dummy晶圆.

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