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「蝕刻升級篇」剖析幹蝕刻和溼蝕刻的作用、製程及其原理

... 高，但依然能達到較高的蝕刻速率。 非等向性蝕刻. 高etch rate. DET 方式 ... 相比之下，幹蝕刻異向性強，線寬穩定性易於控制，缺點為機臺裝置及維護費用 ...

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