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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

負離子,中性分子,活性基及發散光子等,產生電漿的方法可使用高溫或高電壓. 何謂乾式蝕刻? 答：利用plasma將不要的薄膜去除. 何謂Under-etching(蝕刻不足)?.

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