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蝕刻選擇比高
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由於乾蝕刻比濕蝕刻具有等向性蝕刻以創建高深寬比結構的獨特能力,因此目前在印刷 ... 高密度的電漿和低真空度增強了具有非等向性的高蝕刻速率。 原子層蝕刻設備. 原子層 ...
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