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反應離子刻蝕- 維基百科，自由的百科全書

... Etching，或 ... 高，但是蝕刻會變得更加各向同性。 一個平行板式和感應耦合電漿體式所組合而成的RIE也是可以實現的。這一系統中，ICP用來產生高濃度電漿體來加快蝕刻速率 ...

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