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蝕刻製程ppt

濕式蝕刻不可在當cd 蝕刻高選擇性二氧化矽的濕式蝕刻氫氟酸(hf)溶液通常稀釋在緩衝液或去離子水以減緩蝕刻速率sio2 + 6hf h2sif6 + 2h2o 氮化矽的濕式 ...

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