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蝕刻選擇比高
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3.1 單晶矽非等向性濕式蝕刻
不同種類的蝕刻液與矽晶圓產生不同的化學反應,蝕刻液的濃度和反應的. 溫度直接影響此過程,一般來說固定蝕刻液的濃度,反應溫度愈高蝕刻速率愈. 快,當升溫至特定溫度,將 ...
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「蝕刻選擇比高」
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