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「面板製程刻蝕」史上最全Dry Etch分類、工藝基本原理及良率 ...

選擇比 即為不同物質之間蝕刻速率的比值。其中又可分為對遮罩物質的選擇比及對待蝕刻物質下層物質的選擇比。選擇比要求越高越好，高選擇比意味著只刻除 ...

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